В процессе шлифования или утончения сверхтонких пластин пористый керамический вакуумный стол часто используется для достижения плоской фиксации и зажима пластин. В процессе шлифования также используется охлаждающая жидкость или чистая вода. Поскольку пластина не может покрыть всю адсорбционную область пористого вакуумного зажима, некоторое количество охлаждающей жидкости или чистой воды быстро всасывается в пористый керамический вакуумный зажим. Если всасываемая жидкость не отделяется, она будет транспортироваться внутрь вакуумного насоса, тем самым повреждая вакуумный насос. Вакуумный насос не может работать должным образом. Поэтому нам нужно устройство, которое может автоматически отделять жидкость, всасываемую в пористый керамический вакуумный зажим. Как правило, автоматический вакуумный сепаратор жидкости (модель: CS-SM-220) является наилучшим выбором.
В ходе реального использования мы обнаружили некоторые проблемы. Скорость потока вакуума внутри пористого вакуумного стола относительно велика, и высокая скорость потока воздуха повлияет на эффект разделения автоматического вакуумного жидкостного сепаратора. Это в основном связано с тем, что высокая скорость потока воздуха заставляет жидкость распыляться и вибрировать. Автоматический вакуумный жидкостный сепаратор CS-SM-220 основан на принципе гравитации для достижения разделения вакуумного воздуха и жидкости. Быстрый поток вакуумного воздуха не дает жидкости возможности осесть и напрямую транспортируется в шланг, подключенный к вакуумному насосу. В результате некоторые жидкости не могут быть эффективно разделены, и эффект разделения жидкости плохой.
Однако это не неразрешимая проблема. Наше решение — подключить воздушный резервуар к магистральной линии, чтобы создать большее пространство, чтобы жидкость и вакуумный воздух могли быть полностью разделены. Дайте жидкости собраться на дне воздушного резервуара и подключите автоматический вакуумный сепаратор жидкости CS-SM-220 к дренажному отверстию на дне воздушного резервуара. Это гарантирует, что жидкость сможет полностью осесть, не ограничивая внутренний диаметр магистральной линии.
Конкретный метод подключения оборудования показан на рисунке ниже:
Так как внутренний диаметр основной линии не стал меньше, то поток вакуума, требуемый пористым вакуумным столом, не ограничен, что обеспечивает силу зажима пористого керамического вакуумного стола. В то же время автоматический вакуумный сепаратор жидкости CS-SM-220 не будет терять вакуум во время разделения жидкости. Это обеспечивает стабильную и постоянную силу зажима пористого вакуумного стола с двух сторон. Так как автоматический вакуумный сепаратор жидкости CS-SM-220 может автоматически разделять жидкость, нет необходимости останавливать машину для слива жидкости в течение всего процесса шлифования пластины.
Однако существует требование для совместного использования этого резервуара для хранения воздуха и автоматического вакуумного жидкостного сепаратора CS-SM-220. Высота резервуара для хранения воздуха должна быть выше, чем автоматический вакуумный жидкостный сепаратор, а внутренний диаметр шланга основной линии должен быть больше, чем внутренний диаметр ответвления, подключенного к автоматическому вакуумному жидкостному сепаратору. Таким образом, два шланга подключаются параллельно, а трубопроводы с большим и малым внутренним диаметром разделяются. Это может обеспечить большее количество вакуумного воздуха, проходящего через основную линию, и меньшее количество вакуумного воздуха, проходящего через ответвление. Вышеуказанные два требования гарантированы. Это может обеспечить полное автоматическое разделение жидкости в высокопоточном вакуумном воздухе. Если у вас есть какие-либо вопросы, отправьте электронное письмо для связи.
