초박형 웨이퍼 연삭 또는 박형화 공정에서는 웨이퍼의 평탄한 고정 및 클램핑을 위해 다공성 세라믹 진공 척이 자주 사용됩니다. 연삭 공정에는 냉각수나 정수도 사용됩니다. 웨이퍼가 다공성 진공 척의 흡착 영역 전체를 덮을 수 없기 때문에, 냉각수나 정수가 다공성 세라믹 진공 척으로 빠르게 흡입됩니다. 흡입된 액체가 분리되지 않으면 진공 펌프 내부로 유입되어 진공 펌프를 손상시킵니다. 진공 펌프가 제대로 작동하지 않습니다. 따라서 다공성 세라믹 진공 척으로 흡입된 액체를 자동으로 분리할 수 있는 장치가 필요합니다. 일반적으로 자동 진공 액체 분리기(모델: CS-SM-220)가 가장 적합합니다.
실제 사용 과정에서 몇 가지 문제점이 발견되었습니다. 다공성 진공 척 내부의 진공 유량이 비교적 크고, 높은 공기 유량은 자동 진공 액체 분리기의 분리 효과에 영향을 미칩니다. 이는 주로 높은 공기 유량으로 인해 액체가 원자화되고 진동하기 때문입니다. CS-SM-220 자동 진공 액체 분리기는 중력 원리를 이용하여 진공 공기와 액체를 분리합니다. 진공 공기의 빠른 흐름으로 인해 액체가 침전될 기회가 없어 진공 펌프에 연결된 호스로 직접 이동합니다. 결과적으로 일부 액체는 효과적으로 분리되지 못하고 액체 분리 효과가 저하됩니다.
하지만 이 문제는 해결 불가능한 것이 아닙니다. 저희의 해결책은 공기 탱크를 메인 라인에 연결하여 더 넓은 공간을 확보하여 액체와 진공 공기가 완전히 분리되도록 하는 것입니다. 액체는 공기 탱크 바닥에 모이도록 하고, CS-SM-220 자동 진공 액체 분리기를 공기 탱크 바닥의 배수구에 연결하면 메인 라인의 내경을 제한하지 않고 액체가 완전히 침전될 수 있습니다.
구체적인 장비 연결 방법은 아래 그림과 같습니다.
메인 라인의 내경이 더 작아지지 않았기 때문에 다공성 진공 척에 필요한 진공 유량이 제한되지 않아 다공성 세라믹 진공 척의 클램핑력이 보장됩니다. 동시에 CS-SM-220 자동 진공 액체 분리기는 액체 분리 과정에서 진공 손실이 발생하지 않습니다. 이는 두 가지 측면에서 다공성 진공 척의 안정적이고 일정한 클램핑력을 보장합니다. CS-SM-220 자동 진공 액체 분리기는 액체를 자동으로 분리할 수 있으므로 웨이퍼 연삭 전 공정 동안 액체 배출을 위해 기계를 멈출 필요가 없습니다.
하지만 이 공기 저장 탱크와 CS-SM-220 자동 진공 액체 분리기를 함께 사용하려면 한 가지 요구사항이 있습니다. 공기 저장 탱크의 높이는 자동 진공 액체 분리기보다 높아야 하며, 주관 호스의 내경은 자동 진공 액체 분리기에 연결된 지관의 내경보다 커야 합니다. 이렇게 하면 두 개의 호스를 병렬로 연결하고 내경이 크고 작은 파이프라인을 분리할 수 있습니다. 이렇게 하면 주관을 통과하는 진공 공기의 양을 늘리고 지관을 통과하는 진공 공기의 양을 줄일 수 있습니다. 위 두 가지 요구사항은 모두 충족됩니다. 고유량 진공 공기에서 액체를 완전 자동으로 분리할 수 있습니다. 문의 사항이 있으시면 이메일을 보내주세요.
