Author name: Sovac Vacuum Clamp

超薄ウェーハの研削または薄化プロセスでは、ウェーハの平坦な固定とクランプを実現するために、多孔質セラミック真空チャックがよく使用されます。研削プロセスでは、クーラントまたはクリーンウォーターも使用されます。ウェーハは多孔質真空チャックの吸着領域全体を覆うことができないため、一部のクーラントまたはクリーンウォーターは多孔質セラミック真空チャックに急速に吸い込まれます。吸い込まれた液体が分離されない場合、真空ポンプの内部に輸送され、真空ポンプが損傷し、真空ポンプが正常に動作できなくなります。そのため、多孔質セラミック真空チャックに吸い込まれた液体を自動的に分離できる装置が必要です。一般的に、自動真空液体セパレーター（モデル：CS-SM-220）が最適です。 実際の使用では、いくつかの問題が見つかりました。多孔質真空チャック内の真空流量は比較的大きく、高流量の空気は自動真空液体分離器の分離効果に影響を与えます。これは主に、高流量の空気が液体を霧化させて振動させるためです。CS-SM-220自動真空液体分離器は、重力の原理に基づいて真空空気と液体の分離を実現します。真空空気の急速な流れにより、液体は沈殿する機会がなく、真空ポンプに接続されたホースに直接輸送されます。その結果、一部の液体は効果的に分離できず、液体の分離効果が低下します。 しかし、これは解決不可能な問題ではありません。当社の解決策は、エアタンクをメインラインに接続してより大きな空間を確保し、液体と真空空気を完全に分離することです。液体はエアタンクの底部に集め、CS-SM-220自動真空液体分離器をエアタンク底部の排水口に接続します。これにより、メインラインの内径を制限することなく、液体を完全に沈殿させることができます。 The specific equipment connection method is as shown in the figure below: メインラインの内径が小さくなっていないため、多孔質真空チャックに必要な真空流量が制限されず、多孔質セラミック真空チャックのクランプ力を確保できます。同時に、CS-SM-220自動真空液体分離機は、液体分離中に真空状態が失われることはありません。これにより、多孔質真空チャックの安定した一定のクランプ力を2つの側面から確保します。CS-SM-220自動真空液体分離機は液体を自動的に分離できるため、ウェーハ研削工程全体を通して液体排出のために機械を停止する必要はありません。 ただし、この空気貯蔵タンクとCS-SM-220自動真空液体分離器を併用する場合は、条件があります。空気貯蔵タンクの高さは自動真空液体分離器よりも高く、主管のホースの内径は自動真空液体分離器に接続された枝管の内径よりも大きくする必要があります。このようにして、2本のホースを並列に接続し、内径の大きいパイプラインと小さいパイプラインを分割します。主管を通過する真空空気の量を増やし、枝管を通過する真空空気の量を減らすことができます。空気貯蔵タンクは10L以上にすることをお勧めします。上記の2つの要件は保証されています。高流量真空空気中の液体の全自動分離を実現できます。ご不明な点がございましたら、メールでお問い合わせください。

超薄ウェーハの研削または薄化プロセスでは、ウェーハの平坦な固定とクランプを実現するために、多孔質セラミック真空チャックがよく使用されます。研削プロセスでは、クーラントまたはクリーンウォーターも使用されます。ウェーハは多孔質真空チャックの吸着領域全体を覆うことができないため、一部のクーラントまたはクリーンウォーターは多孔質セラミック真空チャックに急速に吸い込まれます。吸い込まれた液体が分離されない場合、真空ポンプの内部に輸送され、真空ポンプが損傷し、真空ポンプが正常に動作できなくなります。そのため、多孔質セラミック真空チャックに吸い込まれた液体を自動的に分離できる装置が必要です。一般的に、自動真空液体セパレーター（モデル：CS-SM-220）が最適です。 実際の使用では、いくつかの問題が見つかりました。多孔質真空チャック内の真空流量は比較的大きく、高流量の空気は自動真空液体分離器の分離効果に影響を与えます。これは主に、高流量の空気が液体を霧化させて振動させるためです。CS-SM-220自動真空液体分離器は、重力の原理に基づいて真空空気と液体の分離を実現します。真空空気の急速な流れにより、液体は沈殿する機会がなく、真空ポンプに接続されたホースに直接輸送されます。その結果、一部の液体は効果的に分離できず、液体の分離効果が低下します。 しかし、これは解決不可能な問題ではありません。当社の解決策は、エアタンクをメインラインに接続してより大きな空間を確保し、液体と真空空気を完全に分離することです。液体はエアタンクの底部に集め、CS-SM-220自動真空液体分離器をエアタンク底部の排水口に接続します。これにより、メインラインの内径を制限することなく、液体を完全に沈殿させることができます。 具体的な機器の接続方法は下図の通りです。 メインラインの内径が小さくなっていないため、多孔質真空チャックに必要な真空流量が制限されず、多孔質セラミック真空チャックのクランプ力を確保できます。同時に、CS-SM-220自動真空液体分離機は、液体分離中に真空状態が失われることはありません。これにより、多孔質真空チャックの安定した一定のクランプ力を2つの側面から確保します。CS-SM-220自動真空液体分離機は液体を自動的に分離できるため、ウェーハ研削工程全体を通して液体排出のために機械を停止する必要はありません。 ただし、この空気貯蔵タンクとCS-SM-220自動真空液体分離器を併用する場合は、条件があります。空気貯蔵タンクの高さは自動真空液体分離器よりも高く、主管のホースの内径は自動真空液体分離器に接続された枝管の内径よりも大きくする必要があります。このようにして、2本のホースを並列に接続し、内径の大きいパイプラインと小さいパイプラインを分割します。主管を通過する真空空気の量を増やし、枝管を通過する真空空気の量を減らすことができます。空気貯蔵タンクは10L以上にすることをお勧めします。上記の2つの要件は保証されています。高流量真空空気中の液体の全自動分離を実現できます。ご不明な点がございましたら、メールでお問い合わせください。

精密平面研削では、平面研削が必要な非磁性薄板材料によく遭遇しますが、これらの薄板材料をどのようにしっかりとクランプするかは、エンジニアにとって課題となります。例えば、セラミック、炭化ケイ素、非鉄金属、ガラス、石英などの厚さ0.5mm～5mmの材料です。上記の材料を平面研削する際に、接着剤、ワックス貼り付け方式、または永久磁石チャックを使用することを選択します。一部の部品の研削は解決できますが、上記の方法でクランプすることが適切ではないケースが依然として多くあります。この点で、当社は上記の非磁性薄板材料を迅速にクランプできる自動バルブ多穴真空チャックを開発しました。これにより、厚さ0.5mm～5mmのセラミック、炭化ケイ素、非鉄金属、ガラス、石英など、薄板または極薄材料の高速真空クランプを実現できます。通常、クランプ動作は5秒で完了し、ワークの解放も5秒以内に完了します。同時に、ワークに化学的または物理的な汚染を引き起こすことはありません。 表面研削用自動バルブ多穴真空チャックには次の機能があります。 1. ワークピースを一定数の吸引穴で覆うだけで、十分なクランプ力が得られます。2. 1つの真空チャックで、様々なサイズのワークピースのクランプニーズに対応できます。3. 吸引穴のサイズは、極薄ワークピースのクランプニーズに合わせてカスタマイズできます。4. 湿式研削と乾式研削の両方に対応できます。5. 研削屑が発生しても、真空チャックの吸引穴が詰まって故障することはありません。6. 丸型回転真空チャックにカスタマイズすることも、長方形の真空チャックに取り付けることもできます。7. 吸引面の精度はカスタマイズして加工することができ、1ミクロンから100ミクロンの精度要件を満たします。 この自動バルブ式平面研削用多穴真空チャックは、垂直軸平面研削盤と水平軸平面研削盤に適用できます。 水平軸平面研削盤のケース動画： https://youtube.com/shorts/xAPm4gY6xbE?si=KyWVyAgpYdhnL2eZ 垂直軸平面研削盤のケースビデオ： https://youtube.com/shorts/H1wwne-0Vik?si=PzgReadjiZOOFstS 平面研削盤の精度管理は、一般的に真空チャック本体の材質と吸着面の材質によって決まります。湿式研削方式を採用する場合、吸着作業面には錆びにくい材質が選ばれるのが一般的です。精度要件に応じて、アルミニウム合金または3Cr13ステンレス鋼を選択できます。Q235や#45鋼のような錆びやすい材質を選択することは容易ではありません。本体材質によって製造コストは大きく異なります。 一部の脆性材料や極薄材料については、吸着穴の直径をΦ1mm～Φ2mmにカスタマイズすることをお勧めします。これにより、吸着面の支持力が向上し、脆性材料の破裂を防止できます。例えば、厚さ0.5mm～1mmのセラミック、ガラス、石英薄板などです。いずれも、このようなカスタマイズ設計が必要です。 真空チャックの選定においては、平面研削盤の砥石とワークとの接触方法、クーラントの有無、クーラントの組成、ワークの厚さ、材質、サイズ、脆性など、多くの側面から総合的に検討する必要があります。真空テーブルの選択については、自動バルブ式多穴真空チャックメーカーの技術エンジニアにお問い合わせいただき、販売前の詳細なご相談をお受けいただくことをお勧めします。

在精密平面磨削中，当需要对非磁性薄片材料进行表面磨削时，工程师经常面临的挑战是如何牢固地固定这些薄片。例如厚度在0.5毫米至5毫米之间的陶瓷、碳化硅、有色金属、玻璃、石英等材料。平磨这些材料时，请使用胶水、粘蜡或永磁吸盘。有些材料可以通过磨掉来去除，但这些方法很难使用，并且常常导致夹紧效率降低。因此我们研制了一种自动阀式多孔真空吸盘，可以快速夹持上述非导电片状材料。该真空吸盘可以快速夹持厚度为0.5毫米至5毫米的薄材料，包括陶瓷、碳化硅、有色金属、玻璃和石英。通常，夹紧操作在5秒内完成，并且工件可以在不到5秒的时间内释放。同时，这些工件不会受到化学或物理污染。 表面研削用自動バルブ多穴真空チャックには次の機能があります。 1. ワークピースを一定数の吸引穴で覆うだけで、十分なクランプ力が得られます。2. 1つの真空チャックで、様々なサイズのワークピースのクランプニーズに対応できます。3. 吸引穴のサイズは、極薄ワークピースのクランプニーズに合わせてカスタマイズできます。4. 湿式研削と乾式研削の両方に対応できます。5. 研削屑が発生しても、真空チャックの吸引穴が詰まって故障することはありません。6. 丸型回転真空チャックにカスタマイズすることも、長方形の真空チャックに取り付けることもできます。7. 吸引面の精度はカスタマイズして加工することができ、1ミクロンから100ミクロンの精度要件を満たします。 この自動バルブ式平面研削用多穴真空チャックは、垂直軸平面研削盤と水平軸平面研削盤に適用できます。 水平軸平面研削盤のケース動画： https://youtube.com/shorts/xAPm4gY6xbE?si=KyWVyAgpYdhnL2eZ 垂直軸平面研削盤のケースビデオ： https://youtube.com/shorts/H1wwne-0Vik?si=PzgReadjiZOOFstS 平面研削盤の精度管理は、一般的に真空チャック本体の材質と吸着面の材質によって決まります。湿式研削方式を採用する場合、吸着作業面には錆びにくい材質が選ばれるのが一般的です。精度要件に応じて、アルミニウム合金または3Cr13ステンレス鋼を選択できます。Q235や#45鋼のような錆びやすい材質を選択することは容易ではありません。本体材質によって製造コストは大きく異なります。 对于一些脆性或者超薄的材料，我们建议将吸孔直径定制为Φ1mm-Φ2mm。这提高了吸附表面的支撑性并防止脆性材料爆裂。例如厚度0.5mm至1mm的陶瓷、玻璃、石英薄板。无论哪种方式，都需要这种类型的定制。 真空チャックの選定においては、平面研削盤の砥石とワークとの接触方法、クーラントの有無、クーラントの組成、ワークの厚さ、材質、サイズ、脆性など、多くの側面から総合的に検討する必要があります。真空テーブルの選択については、自動バルブ式多穴真空チャックメーカーの技術エンジニアにお問い合わせいただき、販売前の詳細なご相談をお受けいただくことをお勧めします。

真空自動液体分離器は、CNC加工業界でますます不可欠になっています。加工業界では、非磁性の薄板ワークピースを加工してクランプする場合、CNCマルチホール真空テーブルを使用する場合があります。このマルチホール真空テーブルでは、実際の吸着作業中に、少量の破片と切削液がマルチホール真空テーブルに吸い込まれます。 多穴真空テーブルの負圧空気源は通常、真空ポンプと真空発生器によって提供されるため、真空テーブルと負圧源機器は空気管を介して接続されます。真空テーブルに入った小さな破片や冷却剤は、介入することなく負圧ガス源機器のガスタンクに入ります。真空ポンプや真空発生器を損傷します。したがって、多穴真空テーブルと負圧ガス源機器の間に真空液体セパレーターを設置する必要があります。 この真空液体分離器に関しては、従来の慣例では通常、手動排水タンクを設置していましたが、この手動排水タンクは手動で定期的に排水する必要があり、またスペースも占有します。この排水タンクの内壁は耐腐食性材料で作られていないため、一定期間使用したり、長期間液体を蓄積したりすると、大量の錆が発生します。より大きなCNC真空テーブルを使用し、大きなワークピースを処理する場合は、手動排水がより頻繁になります。現在、1人の機械オペレーターが複数の機械を監視し、手動排水タンクの液面に注意を払う必要があります。これは理想的な解決策ではありません。 これを念頭に置いて、SOVAC VACUUM CLAMP チームは 1 年間の研究開発を経て、ついに小型でインテリジェントなポータブル真空自動液体分離器を開発しました。これは真空インテリジェント排水装置または真空インテリジェント排水分離器とも呼ばれます。 この新しい真空自動液体分離システムには、次の利点があります。 小型で場所を取りません。 通常使用では、CNC加工センター内に設置して、排出された液体をCNC加工センター内に排出することができます。また、CNC加工センターの後ろのシンクの上に置くこともできます。 広範囲の負圧適応。 0～-0.1MPa(1bar)の範囲で使用可能。排水機構は負圧値とは無関係なので、より広範囲の負圧に適用できます。 https://youtu.be/qe2b7hwBI9k?si=wA9gj-kM1O6p9f-M インテリジェントな排水。 エアパイプは2本のみで、それぞれCNC多穴真空テーブルと真空ポンプに接続でき、手動設定は不要です。電源を入れると正常に動作します。排水の頻度は、ポンプで送り込む液体の量によって変わります。ポンプで送り込む液体の量が速いほど、排水サイクルは短くなります。適応的に調整されます。これまでの経験によると、排水は通常4〜7分ごとに1回行われます。 圧力低下のないインテリジェントな圧力維持。 排水プロセス中に真空圧が低下することはありません。 ゴミ濾過の二重保護。