超薄ウェーハの研削または薄化プロセスでは、ウェーハの平坦な固定とクランプを実現するために、多孔質セラミック真空チャックがよく使用されます。研削プロセスでは、クーラントまたはクリーンウォーターも使用されます。ウェーハは多孔質真空チャックの吸着領域全体を覆うことができないため、一部のクーラントまたはクリーンウォーターは多孔質セラミック真空チャックに急速に吸い込まれます。吸い込まれた液体が分離されない場合、真空ポンプの内部に輸送され、真空ポンプが損傷し、真空ポンプが正常に動作できなくなります。そのため、多孔質セラミック真空チャックに吸い込まれた液体を自動的に分離できる装置が必要です。一般的に、自動真空液体セパレーター（モデル：CS-SM-220）が最適です。
実際の使用では、いくつかの問題が見つかりました。多孔質真空チャック内の真空流量は比較的大きく、高流量の空気は自動真空液体分離器の分離効果に影響を与えます。これは主に、高流量の空気が液体を霧化させて振動させるためです。CS-SM-220自動真空液体分離器は、重力の原理に基づいて真空空気と液体の分離を実現します。真空空気の急速な流れにより、液体は沈殿する機会がなく、真空ポンプに接続されたホースに直接輸送されます。その結果、一部の液体は効果的に分離できず、液体の分離効果が低下します。
しかし、これは解決不可能な問題ではありません。当社の解決策は、エアタンクをメインラインに接続してより大きな空間を確保し、液体と真空空気を完全に分離することです。液体はエアタンクの底部に集め、CS-SM-220自動真空液体分離器をエアタンク底部の排水口に接続します。これにより、メインラインの内径を制限することなく、液体を完全に沈殿させることができます。
具体的な機器の接続方法は下図の通りです。
メインラインの内径が小さくなっていないため、多孔質真空チャックに必要な真空流量が制限されず、多孔質セラミック真空チャックのクランプ力を確保できます。同時に、CS-SM-220自動真空液体分離機は、液体分離中に真空状態が失われることはありません。これにより、多孔質真空チャックの安定した一定のクランプ力を2つの側面から確保します。CS-SM-220自動真空液体分離機は液体を自動的に分離できるため、ウェーハ研削工程全体を通して液体排出のために機械を停止する必要はありません。
ただし、この空気貯蔵タンクとCS-SM-220自動真空液体分離器を併用する場合は、条件があります。空気貯蔵タンクの高さは自動真空液体分離器よりも高く、主管のホースの内径は自動真空液体分離器に接続された枝管の内径よりも大きくする必要があります。このようにして、2本のホースを並列に接続し、内径の大きいパイプラインと小さいパイプラインを分割します。主管を通過する真空空気の量を増やし、枝管を通過する真空空気の量を減らすことができます。空気貯蔵タンクは10L以上にすることをお勧めします。上記の2つの要件は保証されています。高流量真空空気中の液体の全自動分離を実現できます。ご不明な点がございましたら、メールでお問い合わせください。
