精密平面研削では、平面研削が必要な非磁性薄板材料によく遭遇しますが、これらの薄板材料をどのようにしっかりとクランプするかは、エンジニアにとって課題となります。例えば、セラミック、炭化ケイ素、非鉄金属、ガラス、石英などの厚さ0.5mm～5mmの材料です。上記の材料を平面研削する際に、接着剤、ワックス貼り付け方式、または永久磁石チャックを使用することを選択します。一部の部品の研削は解決できますが、上記の方法でクランプすることが適切ではないケースが依然として多くあります。この点で、当社は上記の非磁性薄板材料を迅速にクランプできる自動バルブ多穴真空チャックを開発しました。これにより、厚さ0.5mm～5mmのセラミック、炭化ケイ素、非鉄金属、ガラス、石英など、薄板または極薄材料の高速真空クランプを実現できます。通常、クランプ動作は5秒で完了し、ワークの解放も5秒以内に完了します。同時に、ワークに化学的または物理的な汚染を引き起こすことはありません。
表面研削用自動バルブ多穴真空チャックには次の機能があります。
1. ワークピースを一定数の吸引穴で覆うだけで、十分なクランプ力が得られます。
2. 1つの真空チャックで、様々なサイズのワークピースのクランプニーズに対応できます。
3. 吸引穴のサイズは、極薄ワークピースのクランプニーズに合わせてカスタマイズできます。
4. 湿式研削と乾式研削の両方に対応できます。
5. 研削屑が発生しても、真空チャックの吸引穴が詰まって故障することはありません。
6. 丸型回転真空チャックにカスタマイズすることも、長方形の真空チャックに取り付けることもできます。
7. 吸引面の精度はカスタマイズして加工することができ、1ミクロンから100ミクロンの精度要件を満たします。
この自動バルブ式平面研削用多穴真空チャックは、垂直軸平面研削盤と水平軸平面研削盤に適用できます。
水平軸平面研削盤のケース動画：
垂直軸平面研削盤のケースビデオ：
平面研削盤の精度管理は、一般的に真空チャック本体の材質と吸着面の材質によって決まります。湿式研削方式を採用する場合、吸着作業面には錆びにくい材質が選ばれるのが一般的です。精度要件に応じて、アルミニウム合金または3Cr13ステンレス鋼を選択できます。Q235や#45鋼のような錆びやすい材質を選択することは容易ではありません。本体材質によって製造コストは大きく異なります。
一部の脆性材料や極薄材料については、吸着穴の直径をΦ1mm～Φ2mmにカスタマイズすることをお勧めします。これにより、吸着面の支持力が向上し、脆性材料の破裂を防止できます。例えば、厚さ0.5mm～1mmのセラミック、ガラス、石英薄板などです。いずれも、このようなカスタマイズ設計が必要です。
真空チャックの選定においては、平面研削盤の砥石とワークとの接触方法、クーラントの有無、クーラントの組成、ワークの厚さ、材質、サイズ、脆性など、多くの側面から総合的に検討する必要があります。真空テーブルの選択については、自動バルブ式多穴真空チャックメーカーの技術エンジニアにお問い合わせいただき、販売前の詳細なご相談をお受けいただくことをお勧めします。
