Lors du meulage ou de l’amincissement de plaquettes ultra-fines, des plateaux de dépression en céramique poreuse sont souvent utilisés pour assurer une fixation et un serrage à plat des plaquettes. Un liquide de refroidissement ou de l’eau propre est également utilisé lors du meulage. Comme la plaquette ne peut pas couvrir toute la surface d’adsorption du mandrin à vide poreux, une partie du liquide de refroidissement ou de l’eau propre sera rapidement aspirée par le mandrin à vide en céramique poreuse. Si le liquide aspiré n’est pas séparé, il sera transporté à l’intérieur de la pompe à vide, ce qui l’endommagera. La pompe à vide ne fonctionnera pas correctement. Il est donc nécessaire d’utiliser un dispositif capable de séparer automatiquement le liquide aspiré dans le mandrin à vide en céramique poreuse. En général, le séparateur de liquide sous vide automatique (modèle : CS-SM-220) est le meilleur choix.
En pratique, nous avons constaté quelques problèmes. Le débit de vide à l’intérieur du plateau de dépression poreux est relativement important, et un débit d’air élevé affecte l’efficacité de séparation du séparateur automatique de liquide sous vide. Cela est principalement dû au fait que ce débit d’air élevé provoque l’atomisation et la vibration du liquide. Le séparateur automatique de liquide sous vide CS-SM-220 utilise le principe de la gravité pour séparer l’air et le liquide. Le flux rapide d’air sous vide empêche le liquide de se déposer et il est directement acheminé vers le tuyau relié à la pompe à vide. Par conséquent, certains liquides ne peuvent pas être séparés efficacement, ce qui rend la séparation des liquides médiocre.
Cependant, ce problème n’est pas insoluble. Notre solution consiste à raccorder le réservoir d’air à la conduite principale afin de créer un espace plus grand permettant une séparation complète du liquide et de l’air sous vide. Le liquide est collecté au fond du réservoir et le séparateur de liquide sous vide automatique CS-SM-220 est raccordé à la sortie de drainage située au fond du réservoir. Cela permet au liquide de se déposer complètement sans limiter le diamètre intérieur de la conduite principale.
La méthode de connexion spécifique de l’équipement est celle illustrée dans la figure ci-dessous :
Le diamètre intérieur de la conduite principale n’ayant pas diminué, le débit de vide requis par le plateau de dépression poreux n’est pas limité, ce qui garantit la force de serrage du plateau en céramique poreuse. De plus, le séparateur de liquide sous vide automatique CS-SM-220 ne perd pas de vide lors de la séparation du liquide. Cela garantit une force de serrage stable et constante du plateau de dépression poreux pour deux raisons. Grâce à la séparation automatique du liquide, le séparateur de liquide sous vide automatique CS-SM-220 n’a pas besoin d’arrêter la machine pour évacuer le liquide pendant le broyage de la plaquette.
Cependant, l’utilisation combinée de ce réservoir de stockage d’air et du séparateur de liquide sous vide automatique CS-SM-220 est requise. La hauteur du réservoir doit être supérieure à celle du séparateur de liquide sous vide automatique, et le diamètre intérieur du tuyau de la conduite principale doit être supérieur à celui de la conduite secondaire raccordée au séparateur de liquide sous vide automatique. De cette manière, deux tuyaux sont connectés en parallèle et les conduites de grand et de petit diamètre intérieur sont séparées. Cela permet d’augmenter le débit d’air sous vide dans la conduite principale et de réduire le débit d’air sous vide dans la conduite secondaire. Les deux exigences ci-dessus sont respectées. La séparation automatique des liquides dans un air sous vide à haut débit est possible. Pour toute question, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail.
