En el proceso de molienda o adelgazamiento de obleas ultrafinas, se suele utilizar una mesa de vacío de cerámica porosa para lograr una fijación y sujeción planas. También se utiliza refrigerante o agua limpia en el proceso de molienda. Dado que la oblea no puede cubrir toda el área de adsorción del mandril de vacío poroso, parte del refrigerante o agua limpia será succionada rápidamente hacia este. Si el líquido succionado no se separa, se transportará al interior de la bomba de vacío, dañándola. La bomba de vacío no funcionará correctamente. Por lo tanto, se necesita un dispositivo que pueda separar automáticamente el líquido succionado hacia el mandril de vacío de cerámica porosa. Generalmente, el separador automático de líquidos al vacío (modelo: CS-SM-220) es la mejor opción.
En la práctica, encontramos algunos problemas. El caudal de vacío dentro de la mesa de vacío porosa es relativamente alto, y el alto caudal de aire afecta la capacidad de separación del separador automático de líquidos al vacío. Esto se debe principalmente a que el alto caudal de aire provoca la atomización y vibración del líquido. El separador automático de líquidos al vacío CS-SM-220 se basa en el principio de gravedad para separar el aire y el líquido. El rápido flujo de aire al vacío impide que el líquido se sedimente y se transporta directamente a la manguera conectada a la bomba de vacío. Como resultado, algunos líquidos no se pueden separar eficazmente, lo que reduce la capacidad de separación.
Sin embargo, este problema tiene solución. Nuestra solución consiste en conectar el tanque de aire a la línea principal para crear un espacio más amplio que permita separar completamente el líquido del aire de vacío. El líquido se acumula en el fondo del tanque de aire y se conecta el separador automático de líquidos al vacío CS-SM-220 a la salida de drenaje en el fondo del tanque. Esto garantiza que el líquido se asiente completamente sin limitar el diámetro interior de la línea principal.
El método de conexión del equipo específico se muestra en la siguiente figura:
Dado que el diámetro interior de la línea principal no se ha reducido, el flujo de vacío requerido por la mesa de vacío porosa no está limitado, lo que garantiza la fuerza de sujeción de la mesa de vacío de cerámica porosa. Al mismo tiempo, el separador automático de líquidos al vacío CS-SM-220 no pierde vacío durante la separación del líquido. Esto garantiza una fuerza de sujeción estable y constante de la mesa de vacío porosa desde dos puntos de vista. Dado que el separador automático de líquidos al vacío CS-SM-220 separa el líquido automáticamente, no es necesario detener la máquina para descargarlo durante todo el proceso de molienda de la oblea.
Sin embargo, existe un requisito para el uso combinado de este tanque de almacenamiento de aire y el separador automático de líquidos al vacío CS-SM-220. La altura del tanque de almacenamiento de aire debe ser mayor que la del separador automático de líquidos al vacío, y el diámetro interior de la manguera de la línea principal debe ser mayor que el diámetro interior del ramal conectado a este. De esta manera, se conectan dos mangueras en paralelo y se dividen las tuberías con diámetros interiores grandes y pequeños. Se logra un mayor flujo de aire al vacío por la línea principal y un menor flujo de aire al vacío por el ramal. Se garantizan ambos requisitos. Se logra una separación automática completa de líquidos en aire al vacío de alto flujo. Si tiene alguna pregunta, envíe un correo electrónico para comunicarse.
