Beim Schleifen oder Dünnstellen ultradünner Wafer werden häufig poröse Keramik-Vakuumtische verwendet, um die Wafer flach zu fixieren und zu spannen. Beim Schleifen kommt auch Kühlmittel oder sauberes Wasser zum Einsatz. Da der Wafer nicht die gesamte Adsorptionsfläche des porösen Vakuumspannfutters bedecken kann, wird schnell etwas Kühlmittel oder sauberes Wasser in das poröse Keramik-Vakuumspannfutter gesaugt. Wird die angesaugte Flüssigkeit nicht abgetrennt, gelangt sie in die Vakuumpumpe und beschädigt diese. Die Vakuumpumpe kann nicht ordnungsgemäß arbeiten. Daher wird ein Gerät benötigt, das die in das poröse Keramik-Vakuumspannfutter gesaugte Flüssigkeit automatisch abtrennen kann. Im Allgemeinen ist der automatische Vakuum-Flüssigkeitsabscheider (Modell: CS-SM-220) die beste Wahl.
Im praktischen Einsatz stellten wir einige Probleme fest. Der Vakuumdurchfluss im porösen Vakuumtisch ist relativ hoch, und der hohe Luftdurchfluss beeinträchtigt die Trennwirkung des automatischen Vakuum-Flüssigkeitsabscheiders. Dies liegt hauptsächlich daran, dass der hohe Luftdurchfluss die Flüssigkeit zerstäubt und vibrieren lässt. Der automatische Vakuum-Flüssigkeitsabscheider CS-SM-220 nutzt das Schwerkraftprinzip, um Vakuumluft und Flüssigkeit zu trennen. Der schnelle Luftstrom verhindert, dass sich die Flüssigkeit absetzt, und wird direkt zum Schlauch der Vakuumpumpe transportiert. Dadurch können einige Flüssigkeiten nicht effektiv getrennt werden, und die Trennwirkung ist unzureichend.
Dies ist jedoch kein unlösbares Problem. Unsere Lösung besteht darin, den Luftbehälter an die Hauptleitung anzuschließen, um einen größeren Raum zu schaffen, in dem Flüssigkeit und Vakuumluft vollständig getrennt werden können. Die Flüssigkeit sammelt sich am Boden des Luftbehälters und schließt den automatischen Vakuum-Flüssigkeitsabscheider CS-SM-220 an den Ablass am Boden des Luftbehälters an. Dadurch wird sichergestellt, dass sich die Flüssigkeit vollständig absetzen kann, ohne den Innendurchmesser der Hauptleitung einzuschränken.
Die spezifische Methode zum Anschließen der Geräte ist in der folgenden Abbildung dargestellt:
Da der Innendurchmesser der Hauptleitung nicht kleiner geworden ist, ist der vom porösen Vakuumtisch benötigte Vakuumfluss nicht begrenzt, wodurch die Klemmkraft des porösen Keramikvakuumtisches gewährleistet wird. Gleichzeitig verliert der automatische Vakuum-Flüssigkeitsabscheider CS-SM-220 während der Flüssigkeitsabscheidung kein Vakuum. Dies gewährleistet die stabile und konstante Klemmkraft des porösen Vakuumtisches aus zwei Gründen. Da der automatische Vakuum-Flüssigkeitsabscheider CS-SM-220 Flüssigkeit automatisch abscheidet, muss die Maschine während des gesamten Wafer-Schleifvorgangs nicht angehalten werden, um Flüssigkeit abzulassen.
Die kombinierte Verwendung dieses Luftspeicherbehälters und des automatischen Vakuum-Flüssigkeitsabscheiders CS-SM-220 erfordert jedoch eine bestimmte Anforderung. Der Luftspeicherbehälter muss höher sein als der automatische Vakuum-Flüssigkeitsabscheider, und der Innendurchmesser des Schlauchs der Hauptleitung muss größer sein als der Innendurchmesser der an den automatischen Vakuum-Flüssigkeitsabscheider angeschlossenen Zweigleitung. Auf diese Weise werden zwei Schläuche parallel geschaltet und Rohrleitungen mit großem und kleinem Innendurchmesser getrennt. Dadurch kann mehr Vakuumluft durch die Hauptleitung und weniger Vakuumluft durch die Zweigleitung strömen. Diese beiden Anforderungen werden erfüllt. Es ist eine vollautomatische Flüssigkeitsabscheidung in Vakuumluft mit hohem Durchfluss möglich. Bei Fragen wenden Sie sich bitte per E-Mail an uns.
